skip to main content
Ngôn ngữ:
Giới hạn tìm kiếm: Giới hạn tìm kiếm: Dạng tài nguyên Hiển thị kết quả với: Hiển thị kết quả với: Chỉ mục
Lọc theo: Chủ đề: Electric Solid State Devices Not Otherwise Provided FOR xóa Tác giả/ người sáng tác: Lai Canfeng xóa
Result Number Material Type Add to My Shelf Action Record Details and Options
1
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Multi-core transformer plasma source

Lai Canfeng ; Cox Michael S ; Loewenhardt Peter K ; Tanaka Tsutomu ; Shamouilian Shamouil

Toàn văn sẵn có

2
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

In situ application of etch back for improved deposition into high-aspect-ratio features

Krishnaraj Padmanabhan ; Ionov Pavel ; Lai Canfeng ; Cox Michael Santiago ; Shamouilian Shamouil

Toàn văn sẵn có

3
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Atmospheric substrate processing apparatus for depositing multiple layers on a substrate

Barnes Michael ; Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Parks John

Toàn văn sẵn có

4
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Atmospheric substrate processing apparatus for depositing multiple layers on a substrate

Barnes Michael ; Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Parks John

Toàn văn sẵn có

5
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

PLASMA AUXILIARY PROCESSING CHAMBER OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE INCLUDING A PLURALITY OF GROUNDING PATH BRIDGE

Lai Canfeng ; Cox Michael S ; Barnes Michael ; Pang Lily L

Toàn văn sẵn có

6
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Atmospheric substrate processing apparatus for depositing multiple layers on a substrate

Barnes Michael ; Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Parks John

Toàn văn sẵn có

7
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Plasma assisted semiconductor substrate processing chamber having a plurality of ground path bridges

Lai Canfeng ; Cox Michael Santiago ; Barnes Michael ; Pang Lily L

Toàn văn sẵn có

8
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

In situ application of etch back for improved deposition into high-aspect-ratio features

Krishnaraj Padmanabhan ; Ionov Pavel ; Lai Canfeng ; Cox Michael S ; Shamouilian Shamouil

Toàn văn sẵn có

9
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

In situ application of etch back for improved deposition into high-aspect-ratio features

Krishnaraj Padmanabhan ; Ionov Pavel ; Lai Canfeng ; Cox Michael Santiago ; Shamouilian Shamouil

Toàn văn sẵn có

10
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

In situ application of etch back for improved deposition into high-aspect-ratio features

Krishnaraj Padmanabhan ; Ionov Pavel ; Lai Canfeng ; Cox Michael Santiago ; Shamouilian Shamouil

Toàn văn sẵn có

11
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Toroidal plasma source for plasma processing

Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Majewski Robert B ; Wanamaker David P ; Lane Christopher T ; Loewenhardt Peter ; Shamouilian Shamouil ; Parks John P

Toàn văn sẵn có

12
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Toroidal plasma source for plasma processing

Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Majewski Robert B ; Wanamaker David P ; Lane Christopher T ; Loewenhardt Peter ; Shamouilian Shamouil ; Parks John P

Toàn văn sẵn có

13
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

METHOD OF GUIDING GAS FLOW IN SUBSTRATE PROCESSING CHAMBER

Laxman Murugesh ; Krishnaraj Padmanabhan ; Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Dubey Narendra ; Cho Tom K ; Gondhalekar Sudhir ; Pang Lily L

Toàn văn sẵn có

14
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

TOROIDAL PLASMA SOURCE FOR PLASMA PROCESSING

Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Lane Christoper T ; Loewenhardt Peter ; Majewski Robert B ; Parks John ; Shamouilian Shamouil ; Wanamaker David P

Toàn văn sẵn có

15
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Directing a flow of gas in a substrate processing chamber

Murugesh Laxman ; Krishnaraj Padmanaban ; Cox Michael ; Lai Canfeng ; Dubey Narendra ; Cho Tom K ; Gondhalekar Sudhir Ram ; Pang Lily L

Toàn văn sẵn có

16
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

TOROIDAL PLASMA SOURCE FOR PLASMA PROCESSING

Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Majewski Robert B ; Wanamaker David P ; Lane Christopher T ; Loewenhardt Peter K ; Shamouilian Shamouil ; Parks John

Toàn văn sẵn có

17
Material Type:
Sáng chế
Thêm vào Góc nghiên cứu

Toroidal plasma source for plasma processing

Cox Michael S ; Lai Canfeng ; Majewski Robert B ; Wanamaker David P ; Lane Christopher T ; Loewenhardt Peter ; Shamouilian Shamouil ; Parks John P

Toàn văn sẵn có

Chủ đề của tôi

  1. Thiết lập

Refine Search Results

Mở rộng kết quả tìm kiếm

  1.   

Đang tìm Cơ sở dữ liệu bên ngoài...